一般采用激光三角法，zlds10x和zlds11x系列激光位移传感器都是采用这种原理，有一个激光发射器和一个接收器，可以测量绝大多数自然表面物体。
光学三角测量法:半导体激光①通过透镜②聚焦在被测物体⑥上。反射光被透镜③收集，投射到cmos阵列④上；信号处理器⑤通过三角函数计算光斑在阵列⑤上的位置，得到与物体的距离。长距离激光测距一般采用光的飞行时间或相位法。例如，对于短距离，zlds100位移传感器通过激光三角测量原理进行测量。zldx10x系列激光位移传感器采用激光三角测量原理进行测量。nls1x系列是全反射原理。
如ldm42激光位移传感器采用激光相位法测量物体之间的距离(无反射镜)，其响应速度高达50hz，测量精度最高可达3mm，该传感器已广泛应用于集装箱定位、大型工件装配定位、江河湖海水位测量等。同时，该传感器特别适用于水电闸门的高度测量。
利用光谱共焦测量技术，可以获得超高的分辨率。纳米分辨率来源于通过上述特殊处理获得的扩展的光谱范围。因为检测焦点的颜色并获得距离信息，所以光谱共焦传感器可以使用非常小的测量点，从而允许测量非常小的被测物体。这也意味着即使被测表面有非常轻微的划痕，它也能不能逃过光谱共焦传感器的眼睛。
由于光谱共焦传感器的光路非常紧凑和集中，非常适合于测量井眼结构。而其他测量方法，如激光三角反射测量，对于小孔往往为力，因为小孔形成的阴影会挡住反射光的光路，无法测量。针对这种小孔测量任务，德国miiridium公司推出了ifs2402显微光谱共焦传感探头。这种探头的探头直径只有4mm，可以探入小孔内部进行测量。
非常适合光谱共焦传感器的另一个应用是测量多层透明材料的厚度。与其他测量方法不同，光谱共焦传感器只需要一个探头就可以测量这类物体。测量被测物体前端和后端的反射光，从而获得层厚信息。因为测量仅使用白光，所以不需要额外的激光安全措施。由于探头本身不含任何电路，所以传感器探头也可以用在有防爆要求或有电磁干扰要求的环境中。
环境。并且控制器可以放置在安全距离处。允许最大长度为50m的光纤连接探头和控制器。但需要禁止光路中存在障碍物或小颗粒，这些会影响测量精度，甚至使测量无法进行。由于采用光学测量方法，探头与被测物体之间的距离也受到限制。
